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| 超高阈值Pick-Off反射镜的研制 | |
| 作者姓名： | 付雄鹰 王建永 丁俊 刘民才 范正修 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光机所上海 201800;中国科学院上海光机所上海 201800;中国科学院上海光机所上海 201800;中国科学院上海光机所上海 201800;中国科学院上海光机所上海 201800 |
| 基金项目： | 国家863惯性约束聚变领域资助课题 |
| 摘 要： | 采用水中抛光技术抛制了90mm×60mm×10 mm的K9玻璃基片,表面粗糙度达1nm。在APS1504镀膜机上,摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件,较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长1054 nm、入射角45°、反射率R≥99.5%的反射膜。膜层的抗激光损伤阈值可达26 J/cm2(1054nm, 1ns),镀膜后该玻璃基片反射波前可达l /10(p-v),最终制备了超高阈值Pick-off反射镜。 |
| 关 键 词： | 激光损伤阈值 反射波前 pick-off反射镜 电子束蒸发 水中抛光 |
| 文章编号： | 1001-4322(2000)03-0285-04 |
| 收稿时间： | 1900-01-01; |
| 修稿时间： | 2000-01-30 |
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