| 软X光多层膜位相型矩形光栅的实验研究及其光学特性 |
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| 引用本文： | 袁利祥 崔明启. 软X光多层膜位相型矩形光栅的实验研究及其光学特性[J]. 光学学报, 1994, 14(6): 42-645 |
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| 作者姓名： | 袁利祥 崔明启 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所，中国科学院高能物理研究所，复旦大学分析测试中心，北京国家同步辐射实验室 |
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| 基金项目： | 国家863高技术计划的资助 |
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| 摘 要： | 详细给出了软Ｘ光多层膜位相型矩形光栅的实验，分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性，并进行了分析。
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| 关 键 词： | 软X射线 位相光栅 多层膜 衍射 |
| 收稿时间： | 1994-02-01 |
Development and Optical Performance of Soft X-ray Multilayer Phase Laminar Grating |
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| Yuan Lixiang, Fan Zhengxiu, Yin Gongjie ,Yi Kui, Shao Jianda. Development and Optical Performance of Soft X-ray Multilayer Phase Laminar Grating[J]. Acta Optica Sinica, 1994, 14(6): 42-645 |
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| Authors: | Yuan Lixiang Fan Zhengxiu Yin Gongjie Yi Kui Shao Jianda |
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| Abstract: | The developement and characterization of soft X-ray multilayer phase laminargrating are given detailly. The optical performance was measured at Beijing SynchrotronRadiation Facility, the results are discussed and analysised. |
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| Keywords: | soft X-ray phase grating multilayer optical performance. |
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