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椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理
引用本文:刘倬建,唐振方. 椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理[J]. 大学物理实验, 2003, 16(1): 65-68
作者姓名:刘倬建  唐振方
作者单位:暨南大学,广州,510632;暨南大学,广州,510632
摘    要:本详尽介绍了椭偏术测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法,采用一种数字迭代计算方法,由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出所测薄膜的折射率和厚度。经过数值试验及与标准值比对,由此编制的计算程序具有准确,快速,方便的特点。

关 键 词:椭偏测厚  数据处理  程序设计

MEASURING THE RESULTS OF OVAL THICKNESS METER IN THE COMPUTER DATAS HANDLING
Liu zhuojian Tang zhenfang. MEASURING THE RESULTS OF OVAL THICKNESS METER IN THE COMPUTER DATAS HANDLING[J]. Physical Experiment of College, 2003, 16(1): 65-68
Authors:Liu zhuojian Tang zhenfang
Abstract:This paper introduces the method of measuring the results of oval thickness meter in the computer datas handling.This computer procedure has the characteristies of correctness and convenience.
Keywords:oval thickness  data handling  procedure designing
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