用于人体运动姿态监测基于IL@PDMS复合膜的摩擦电纳米发电机 |
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引用本文: | 宋金沙,张甜,乔冰琴,赵涓宏,穆继亮.用于人体运动姿态监测基于IL@PDMS复合膜的摩擦电纳米发电机[J].微纳电子技术,2024(5):140-146. |
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作者姓名: | 宋金沙 张甜 乔冰琴 赵涓宏 穆继亮 |
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作者单位: | 1. 山西省财政税务专科学校大数据学院;2. 中北大学仪器与电子学院;3. 中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室 |
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基金项目: | 山西省高等学校科技创新项目(2023L532); |
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摘 要: | 摩擦电纳米发电机(TENG)在自供电可穿戴领域得到了广泛关注,通过材料修饰及制备工艺优化可实现对人体运动姿态的监测。研制了一种可用于人体运动姿态监测的TENG。一方面基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)引入高介电性离子液体(IL),制备了IL@PDMS复合膜作为摩擦层,有效提高了摩擦电输出性能;另一方面,基于光刻微电子机械系统(MEMS)工艺及模板转移技术对IL@PDMS复合膜表面进行金字塔微结构修饰,实现摩擦效应的增强。与纯PDMS膜相比,IL的引入可使摩擦电输出电流及输出电压分别提高近4倍和6倍;另外,表面微结构的修饰也使得输出电流及输出电压分别提升近1.5倍和0.7倍。此外,当工作10 000个周期后,摩擦电输出性能仍保持不变。实验表明,当将IL@PDMS-TENG贴附在手指上时,实现了对人体运动姿态的有效监测。该研究为可穿戴人体运动传感器提供了新的技术路径及应用前景。
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关 键 词: | IL@PDMS复合膜 摩擦电纳米发电机(TENG) 表面修饰 运动监测 离子液体 |
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