| 基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法 |
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| 引用本文： | 潘明波,刘巍. 基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法[J]. 光学与光电技术, 2015, 13(2) |
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| 作者姓名： | 潘明波 刘巍 |
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| 作者单位： | 华中光电技术研究所—武汉光电国家实验室,湖北武汉,430223 |
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| 摘 要： | 光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视.提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径.通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化).该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高.该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景.
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| 关 键 词： | 部分相干成像 光刻机 空间像 傅里叶光学 仿真计算 |
Method of Simulating Projection Images in Optical Lithographic System Based on Fourier Analysis of Mutual Intensities |
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| PAN Ming-bo,LIU Wei. Method of Simulating Projection Images in Optical Lithographic System Based on Fourier Analysis of Mutual Intensities[J]. optics&optoelectronic technology, 2015, 13(2) |
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| Authors: | PAN Ming-bo LIU Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | partially coherent imaging optical lithography aerial image Fourier optics simulation |
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