| 直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜 |
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| 引用本文： | 马平,刘乐园,张升原,王昕,谢飞翔,邓鹏,聂瑞娟,王守证,戴远东,王福仁. 直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜[J]. 物理学报, 2002, 51(2): 406-409 |
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| 作者姓名： | 马平 刘乐园 张升原 王昕 谢飞翔 邓鹏 聂瑞娟 王守证 戴远东 王福仁 |
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| 作者单位： | 人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京大学物理系,北京100871 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划 (批准号 :86 3 CD0 5 0 10 1)；国家重点基础研究 ( 973)专项经费 (批准号 :G19990 6 46 0 9；G19990 6 46 0 7)资助的课题 |
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| 摘 要： | 用MgB2靶,控制直流磁控溅射工作在异常辉光放电或弧光放电状态,在SrTiO3衬底上原位一次性得到了MgB2超导薄膜,其起始转变温度为32K,零电阻温度为15K.关键词：高温超导体超导薄膜磁控溅射二硼化镁
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| 关 键 词： | 高温超导体 超导薄膜 磁控溅射 二硼化镁 |
| 收稿时间： | 2001-07-20 |
| 修稿时间： | 2001-08-09 |
Single-step in-situ preparation of magnesium diboride superconducting thin films by dc magnetron sputtering |
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| Ma Ping Liu Le-Yuan Zhang Sheng-Yuan Wang Xin Xie Fei-Xiang Deng PengNie Rui-Juan Wang Shou-Zheng Dai Yuan-Dong Wang Fu-Ren. Single-step in-situ preparation of magnesium diboride superconducting thin films by dc magnetron sputtering[J]. Acta Physica Sinica, 2002, 51(2): 406-409 |
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| Authors: | Ma Ping Liu Le-Yuan Zhang Sheng-Yuan Wang Xin Xie Fei-Xiang Deng PengNie Rui-Juan Wang Shou-Zheng Dai Yuan-Dong Wang Fu-Ren |
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| Abstract: | In a single-step in-situ procedure,the superconducting MgB 2 (101) highly oriented thin films have been successfully grown on the SrTiO 3 (100) substrates by using the synthesised MgB 2 target and controlling the magetron sputtering working at the state of abnormal glow discharge or arc discharge.The fillms have a zero resistance transition temperature of 15K and an onset transition temperature of 33K. |
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| Keywords: | high-temperature superconductor superconducting thin films magnetron sputtering MgB 2 |
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