| PET塑料衬底非晶/微晶硅叠层太阳电池研究 |
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| 引用本文： | 倪牮,薛俊明,曹丽冉,赵鹏,张建军,袁育杰,孙建,侯国付,赵颖,耿新华.PET塑料衬底非晶/微晶硅叠层太阳电池研究[J].光电子．激光,2009(6). |
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| 作者姓名： | 倪牮 薛俊明 曹丽冉 赵鹏 张建军 袁育杰 孙建 侯国付 赵颖 耿新华 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所; |
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| 基金项目： | 天津市科技发展计划资助项目(06YFGZGX02100) |
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| 摘 要： | 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在125℃的低温条件下,沉积了一系列不同厚度的本征微晶硅(μc-Si)薄膜。对材料的光电特性和结构特性的测试结果表明,低温条件下制备的μc-Si薄膜具有较厚的非晶孵化层,并且纵向结构演变较为明显。采用梯度H稀释技术,在沉积过程中不断降低H稀释度,改善了μc-Si薄膜的纵向均匀性。将此技术应用于非晶硅(a-Si)/μc-Si叠层电池的μc-Si底电池,在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料衬底上制备出初始效率达到6.0%的a-Si/μc-Si叠层电池。
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| 关 键 词： | 微晶硅（μc-Si）薄膜 低温沉积 孵化层 聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET） |
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