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| 利用SOI材料提高触觉传感阵列的性能 | |
| 作者姓名： | 吕世骥 黄庆安 童勤义 袁璟 |
| 作者单位： | 东南大学微电子中心 南京210018(吕世骥，黄庆安，童勤义)，东南大学微电子中心 南京210018(袁璟) |
| 摘 要： | 利用半导体材料、平面工艺和微机械加工研制触觉传感器是当前触觉传感器研究开发的一个重要方面,其中硅膜片电容式触觉传感阵列则是在研究中被广泛采用的结构.然而,触觉传感阵列的性能常受到微机械加工精度的限制.为了提高电容式触觉传感阵列的性能,本工作以SOI材料中异质结界面作为深槽腐蚀中腐蚀自停止界面,以提高硅膜片的表面平整度和厚度均匀性.在此基础上研制了 16×16硅膜片电容式触觉传感阵列,得到了较好的结果. |
| 关 键 词： | 触觉传感器 SOI材料 微加工 |
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