| 基于MEMS微镜角度反馈的新型封装应力隔离结构 |
| |
| 引用本文： | 钱磊,胡杰,单亚蒙,王俊铎,周鹏,沈文江.基于MEMS微镜角度反馈的新型封装应力隔离结构[J].光子学报,2022,51(5):177-186. |
| |
| 作者姓名： | 钱磊 胡杰 单亚蒙 王俊铎 周鹏 沈文江 |
| |
| 作者单位： | 中国科学技术大学 纳米技术与纳米仿生学院 合肥 230026;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州 215123,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州 215123 |
| |
| 摘 要： |
|
| 关 键 词： | 微机电系统 MEMS微镜 压阻传感器 封装应力 应力隔离装置 |
Novel Packaging Stress Isolation Structure for MEMS Micromirror with Piezoresistive Angle Sensor |
| |
| QIAN Lei,HU Jie,SHAN Yameng,WANG Junduo,ZHOU Peng,SHEN Wenjiang.Novel Packaging Stress Isolation Structure for MEMS Micromirror with Piezoresistive Angle Sensor[J].Acta Photonica Sinica,2022,51(5):177-186. |
| |
| Authors: | QIAN Lei HU Jie SHAN Yameng WANG Junduo ZHOU Peng SHEN Wenjiang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
