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| 电子束曝光机(三) | |
| 作者姓名： | 孙洪涛 |
| 摘 要： | 1、引言 上一讲已经说明了组成电子光学镜筒的若干部件的特性。这个电子光学分系统加上样品工件台,电子束控制电路,计算机和真空系统,电源等一些支持分系统就组成了一台完整的电子束曝光机。这些作图分系统可以几种不同的方式设计和使用,随机器使用的目的而异。本讲将论述电子束曝光机采用的几种形式以及相应的作图和计算机控制模 |
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