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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性
作者姓名:
林景全 周忠源
作者单位:
1 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室, 长春 130022;2 吉林大学原子分子所, 长春 130022
基金项目:
应用光学国家重点实验室基金
摘 要:
给出了用于软X射线投影光刻的激光等离子体源靶材的选择依据。计算了类锂氧离子的辐射跃迁波长和相应的跃迁速率值。并通过与常规金属靶的比较, 给出了实验靶的一些特性。
关 键 词:
激光等离子体
靶材
碎片
收稿时间:
1900-01-01;
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