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| 激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性 | |
| 引用本文： | 林景全,周忠源.激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性[J].强激光与粒子束,1998,10(3):429-432. |
| 作者姓名： | 林景全 周忠源 |
| 作者单位： | 1 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室, 长春 130022;2 吉林大学原子分子所, 长春 130022 |
| 基金项目： | 应用光学国家重点实验室基金 |
| 摘 要： | 给出了用于软X射线投影光刻的激光等离子体源靶材的选择依据。计算了类锂氧离子的辐射跃迁波长和相应的跃迁速率值。并通过与常规金属靶的比较, 给出了实验靶的一些特性。 |
| 关 键 词： | 激光等离子体 靶材 碎片 |
| 收稿时间： | 1900-01-01; |
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