| 大直径FZSi中的微缺陷研究 |
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| 引用本文： | 张维连,赵红生,孙军生,张恩怀,陈洪建,高树良,刘涛,胡元庆,李颖辉,郭丽华.大直径FZSi中的微缺陷研究[J].人工晶体学报,2002,31(6):595-598. |
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| 作者姓名： | 张维连 赵红生 孙军生 张恩怀 陈洪建 高树良 刘涛 胡元庆 李颖辉 郭丽华 |
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| 作者单位： | 河北工业大学半导体材料研究所,天津,300130;天津半导体材料厂,天津,300130 |
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| 基金项目： | 河北省自然科学基金(No.101059)资助项目 |
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| 摘 要： | 经过化学-机械抛光后,用常规的检验旋涡缺陷的方法没有观察到旋涡缺陷的FZSi片,用高温热氧化法有时则可以观察到明显的旋涡状分布的条纹图形.使用FTIR、XPS、 SEM能谱分析等手段的测量结果表明,这种旋涡状分布的图形与晶体中的掺杂剂(磷、硼)和杂质氧、碳以及重金属杂质没有明显的依赖关系,它是硅中点缺陷在晶体径向截面上呈不均匀条纹状分布的结果.本文对大直径FZSi中的旋涡缺陷的形成机理和消除方法进行了初步的探讨.
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| 关 键 词： | FZSi 旋涡缺陷 热对流 点缺陷 |
| 文章编号： | 1000-985X(2002)06-595-04 |
| 修稿时间： | 2002年4月5日 |
Study on the Micro-defects in Large Size FZSi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | FZSi |
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