| 面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀 |
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| 引用本文： | 张新宇,赵兴荣,易新建,张智.面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀[J].华中科技大学学报(自然科学版),1998(5). |
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| 作者姓名： | 张新宇 赵兴荣 易新建 张智 |
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| 作者单位： | 华中理工大学光电子工程系 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 利用光刻热熔法及氩离子束刻蚀技术制作１２８×１２８元面阵硅场发射器件，采用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针等测试手段分析所制成的面阵硅微尖阵列和硅微台（微环尖）阵列的表面微结构形貌特点．所制成的面阵硅微尖和硅微台（微环尖）器件的图形整齐均匀，达到了预定的各项指标的要求．实验表明，所采用的器件制作方法有较大的实用价值．
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| 关 键 词： | 场发射 硅微尖阵列 硅微台阵列 |
Ar Ion Beam Etching for Silicon Field Emission Arrays |
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| Zhang Xinyu Doctoral Candidate, Dept. of Optoelectronic Eng.,HUST,Wuhan ,China. Zhao Xingrong Yi Xinjian Zhang Zhi.Ar Ion Beam Etching for Silicon Field Emission Arrays[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,1998(5). |
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| Authors: | Zhang Xinyu Doctoral Candidate Dept of Optoelectronic Eng HUST Wuhan China Zhao Xingrong Yi Xinjian Zhang Zhi |
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| Institution: | Zhang Xinyu Doctoral Candidate, Dept. of Optoelectronic Eng.,HUST,Wuhan 430074,China. Zhao Xingrong Yi Xinjian Zhang Zhi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | field emission Si microtip arrays Si microplatform arrays |
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