| MOEMS静电旋转结构的Pull-in现象分析 |
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| 引用本文： | 岳宁煜,万江文.MOEMS静电旋转结构的Pull-in现象分析[J].微纳电子技术,2004,41(11):28-32. |
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| 作者姓名： | 岳宁煜 万江文 |
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| 作者单位： | 北京邮电大学,北京,100876 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)课题(2003AA404018)，教育部优秀青年教师资助计划项目(教人司2002 350) |
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| 摘 要： | 对MOEMS静电旋转结构的Pull鄄in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构。摆动梳齿旋转结构不出现Pull鄄in现象的原因是电容变化率为恒值;平板电极旋转结构在电极旋转过程中电容变化率持续增大是Pull鄄in现象出现的根本原因,设计平板电极旋转驱动器时,如果需要得到较大的稳态旋转角度,可以通过合适的结构参数减小电容变化率的变化速率。
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| 关 键 词： | MOEMS 旋转驱动器 平板电极 摆动梳齿 吸合 |
| 文章编号： | 1671-4776(2004)11-0028-04 |
| 修稿时间： | 2004年6月8日 |
Pull-in phenomena analysis of MOEMS electrostatic rotation structure |
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| YUE Ning-yu,WAN Jiang-wen.Pull-in phenomena analysis of MOEMS electrostatic rotation structure[J].Micronanoelectronic Technology,2004,41(11):28-32. |
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| Authors: | YUE Ning-yu WAN Jiang-wen |
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| Abstract: | The Pull-in phenomena of MOEMS electrostatic rotation structures are discussed,focus on the parallel-plate rotation structure and staggered-comb rotation structure. Pull-in phenomena do not occur in the staggered-comb rotation structure,because the gradient of capacitance is changeless. The reason of Pull-in phenomenon of parallel-plate rotation structure is that the gradient of capacitance increases with the rotation angle. Designing parallel-plate rotation actuator,the rate of gradient of capacitance should be decreased in order to obtain a large rotation angle. |
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| Keywords: | MOEMS rotation-actuator parallel-plate staggered-comb Pull-in |
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