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用刀刃技术测SAW速度
引用本文:干昌明.用刀刃技术测SAW速度[J].应用声学,1986,5(3):39-41.
作者姓名:干昌明
作者单位:南京大学声学研究所
摘    要:本文介绍了一种激光探针(刀刃技术)测SAW速度的方法.用这种方法测量了s切一x传播石英晶片的自由表面SAA速度及金属化表面SAw速度。速度值的准确度优于1‰,精密度约为0.4‰。

关 键 词:干涉波  自由表面  表面声波  微动台  金属化  相速  光电接收器  示值误差  测量显微镜  叉指换能器
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