| 硅基1.55 μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究 |
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| 引用本文： | 毛容伟,成步文,李传波,左玉华,滕学公,罗丽萍,余金中,王启明.硅基1.55 μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究[J].光子学报,2005,34(12):1783-1787. |
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| 作者姓名： | 毛容伟 成步文 李传波 左玉华 滕学公 罗丽萍 余金中 王启明 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划（973项目,No.G2000036603）、863项目（No.2002AA312010）和国家自然科学基金（No.90104003,60376025,60336010,60223001）资助 |
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| 摘 要： | 制作了一种低成本硅基1.55 μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应，共振峰量子效率达44％，峰值半高宽为12.5nm，调谐范围14.5nm,并且获得1.8 GHz的高频响应.本制作工艺不复杂，成本低，有望用于工业生产.
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| 关 键 词： | 共振腔增强型探测器 介质键合 InGaAs 可调谐 高频响应 |
| 收稿时间： | 2004-09-16 |
| 修稿时间： | 2004年9月16日 |
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