| 飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列 |
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| 引用本文： | 李明,程光华,赵卫,王屹山,贺俊芳,陈国夫.飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列[J].光子学报,2009,38(3). |
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| 作者姓名： | 李明 程光华 赵卫 王屹山 贺俊芳 陈国夫 |
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| 作者单位： | 中国科学院西安光学精密机械研究机所,瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安,710119
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| 摘 要： | 基于飞秒激光光刻技术和氢氟酸对光学玻璃的刻蚀,在K9光学玻璃表面制作了凹面微透镜阵列,并且可以以此为模板实现凸微透镜阵列的大量复制.用相位对比显微镜和扫描电子显微镜分析了微透镜阵列的表面轮廓,测试了微透镜阵列的光学衍射特征.该方法简单、透镜参量可控,制作的微透镜阵列能够用于分光、光束匀化、并行光刻等强激光领域.
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| 关 键 词： | 飞秒激光 酸刻蚀 凹面微透镜阵列 |
Concave Microlens Arrays Produced by Femtosecond Laser With HF Acid Etching |
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| LI Ming,CHENG Guang-hua,WANG Yi-shan,HE Jun-fang,CHEN Guo-fu,ZHAO Wei.Concave Microlens Arrays Produced by Femtosecond Laser With HF Acid Etching[J].Acta Photonica Sinica,2009,38(3). |
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| Authors: | LI Ming CHENG Guang-hua WANG Yi-shan HE Jun-fang CHEN Guo-fu ZHAO Wei |
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