| 微惯性仪表技术的研究与发展 |
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| 引用本文： | 丁衡高,王寿荣,黄庆安,裘安萍,万德钧,周百令,苏岩. 微惯性仪表技术的研究与发展[J]. 中国惯性技术学报, 2001, 9(4): 46-49,73 |
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| 作者姓名： | 丁衡高 王寿荣 黄庆安 裘安萍 万德钧 周百令 苏岩 |
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| 作者单位： | 东南大学，江苏南京210096 |
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| 摘 要： | 论述了当前国内外微惯性仪表设计和制造技术的研究与发展，强调了对相关基础理论研究的重要性，提出了计算机集成微制造单元的概念。
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| 关 键 词： | 微惯性仪表 微机械陀螺 计算机集成微制造单元 微惯性测量组合 微机电系统 |
| 文章编号： | 1005-6734(2001)04-0046-04 |
Research and Development of Micro Inertial Instruments |
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| DING Heng-gao,WANG Shou-rong,HUANG Qing-an,QIU An-ping,WAN De-jun,ZHOU Bai-ling,SU Yan. Research and Development of Micro Inertial Instruments[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2001, 9(4): 46-49,73 |
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| Authors: | DING Heng-gao WANG Shou-rong HUANG Qing-an QIU An-ping WAN De-jun ZHOU Bai-ling SU Yan |
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| Abstract: | In this paper, the research and development for the design and fabrication technique of micro inertial instruments are presented with emphasis on the fundamental theory. A viewpoint about the computer- integrated micro manufacture unit is proposed. |
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| Keywords: | micro inertial instrument micromachined gyroscope computer integrated micro manufacture unit (CIMMU) |
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