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| 在硅基材料上用Sol-gel法制备涂层测定氧扩散系数研究 | |
| 引用本文： | 谭红,何锦林,汪大成,陈佳新.在硅基材料上用Sol-gel法制备涂层测定氧扩散系数研究[J].贵州科学,2003,21(1):17-19. |
| 作者姓名： | 谭红 何锦林 汪大成 陈佳新 |
| 作者单位： | 1. 贵州省理化测试中心,贵州,贵阳,550002 2. 贵州省冶金科学研究室,贵州,贵阳,550002 3. Department of Inorganic Chemistry,Chaimers University of Techmology,S412 96 GOTEBORG,SWEDEN |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(批准号:59761001) |
| 摘 要： | 提出一种测定氧扩散系数新方法。用Sol-gel法制备了Y2O3/SiO2均匀致密的薄膜，能成功解决其它方法无法得到的冶炼所得到的熔体，光学椭偏测定氧化层的膜厚。探讨了氧在薄膜中的扩散，在Wagner理论基础上，用数学方法表达在掺杂SiO2薄膜氧扩散系数与氧化层膜厚的关系。 |
| 关 键 词： | Y2O3／SiO2薄膜 氧扩散系数 Sol-gel法 硅基材料 薄膜厚度 Wagner理论 |
| 文章编号： | 1003-6563(2003)01-2-0017-03 |
| 修稿时间： | 2002年8月30日 |
A STUDY ON OXYGEN DIFFUSION THROUGH COATING THIN FILM FORMED BY SOL - GEL PROCESS |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Sol-gel Y2O3/SiO2 |
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