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| 西门子S7-200PLC在EM-5026B型双面光刻机改造中的应用 | |
| 引用本文： | 徐祺旻.西门子S7-200PLC在EM-5026B型双面光刻机改造中的应用[J].混合微电子技术,2007,18(4):35-38. |
| 作者姓名： | 徐祺旻 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团第43研究所,合肥230022 |
| 摘 要： | 本文介绍了可编程控制器（PLC）的基本工作原理，及西门子SIMATIC S7—200型PLC在EM-5026B型双面光刻机控制系统中的应用。并详细叙述了此应用中的软硬件设计方法与过程。 |
| 关 键 词： | PLC 光刻机 设备改造 自动控制 |
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