集成光路——材料和制法

1.引言 近几年,集成光路的研究进展很快,已经报导了很多电介质材料,有源元件和无源元件,但是,多数是探索材料可能性的研究。例如,对于薄膜光波导材料,就有有机物、玻璃、半导体等多种材料。有机薄膜具有制作容易、损耗低、便宜等优点,但是,在寿命、强度方面存在问题,从实用角度来看,不如其它材料。另一方面,半导体几乎具备所有集成光路元件的功能,可以作成高效率元件,所以,单片集成越来越有希望。特别是由于最近长寿命GaAs激光器的出现,集成光路的材料,集中到在寿命、效