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| 谐振式加速度计非线性振动的建模与优化 | |
| 作者单位： | ;1.清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室 |
| 摘 要： | 实验发现硅微谐振式加速度计非线性效应的弱化可以降低测量噪声,对非线性振动进行了推导与建模,利用扫频数据得到模型中的未知参数,并根据模型计算出使非线性效应消失所需的激励电压,给闭环工作点的设计提供了理论指导。实验结果表明:模型与实际系统在各激励电压幅值下均保持一致,非线性效应消失点和实验吻合。根据闭环工作点的设置进行了方案优化,最终在0.25 mV激励电压下的闭环实验中,实现了5.5×10~(-5) Hz的频率输出噪声,对应加速度噪声为1.7μg,与之前30μg的噪声水平相比改善了数十倍。 |
| 关 键 词： | 谐振式加速度计 非线性振动 杜芬方程 降低噪声 |
Modeling and optimization of resonant accelerometer's nonlinear vibration |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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