| DFB激光器阵列与MMI耦合器、SOA的单片集成 |
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| 引用本文： | 马丽,朱洪亮,梁松,王宝军,张灿,赵玲娟,边静,陈明华.DFB激光器阵列与MMI耦合器、SOA的单片集成[J].光电子．激光,2013(3):424-428. |
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| 作者姓名： | 马丽 朱洪亮 梁松 王宝军 张灿 赵玲娟 边静 陈明华 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京 100083;清华大 学 电子工程系,北京100084 |
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| 基金项目： | 国家“863”计划(2011AA010303,2012AA012203)、国家“973”计划(2011CB301702)和国家自然科学基金(61021003,61090392)资助项目 (1.中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京 100083; 2.清华大学 电子工程系,北京100084) |
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| 摘 要： | 采用变脊宽原理和对接生长技术,设计并制作了4通道分布反馈(DFB)激光器阵列与多模干涉(MMI)耦合器、半导体光放 大器(SOA)的单片集成器件。在25℃的测试温度下,激光器的阈值电 流约55~60mA；当激光器注入150mA、SOA 注入50mA电流时,各通道的出光功率保持在2mW以上,出射波长 处于1550nm波段,边模抑制比(SMSR)大于33 d B,4通道可实现单独或同时工作。
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| 关 键 词： | 分布反馈(DFB)激光器阵列 变脊宽 多模干涉(MMI)耦合器 半导体光放大器(SOA) 单片集成 |
| 收稿时间： | 2012/8/29 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2012/9/27 0:00:00 |
DFB laser array monolithically integrated with MMI combiner and SOA |
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| MA Li,ZHU Hong-liang,LIANG Song,WANG Bao-jun,ZHANG Can,ZHAO Ling-juan,BIAN Jing and CHEN Ming-hua.DFB laser array monolithically integrated with MMI combiner and SOA[J].Journal of Optoelectronics·laser,2013(3):424-428. |
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| Authors: | MA Li ZHU Hong-liang LIANG Song WANG Bao-jun ZHANG Can ZHAO Ling-juan BIAN Jing and CHEN Ming-hua |
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| Institution: | Key Laboratory of Semiconductor Materials Science,Institute of Semiconductor s,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Key Laboratory of Semiconductor Materials Science,Institute of Semiconductor s,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Key Laboratory of Semiconductor Materials Science,Institute of Semiconductor s,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Key Laboratory of Semiconductor Materials Science,Institute of Semiconductor s,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Key Laboratory of Semiconductor Materials Science,Institute of Semiconductor s,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Key Laboratory of Semiconductor Materials Science,Institute of Semiconductor s,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Key Laboratory of Semiconductor Materials Science,Institute of Semiconductor s,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Department of Electronic Engineering,Tsinghua University,Beijing 100084,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | distributed feedback (DFB) laser array varing width ridge multimode-interfere nce (MMI) combiner semiconductor optical amplifier (SOA) monolithic integratio n butt-joint |
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