| 氮化铁薄膜晶相合成热分析及其磁性 |
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| 引用本文： | 卢启海,唐晓莉,宋玉哲,左显维,韩根亮,闫鹏勋,刘维民.氮化铁薄膜晶相合成热分析及其磁性[J].物理学报,2019(11). |
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| 作者姓名： | 卢启海 唐晓莉 宋玉哲 左显维 韩根亮 闫鹏勋 刘维民 |
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| 作者单位： | 甘肃省科学院传感技术研究所甘肃省传感器与传感技术重点实验室;中国科学院兰州化学物理研究所;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;甘肃省科学院纳米应用技术研究室 |
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| 摘 要： | 研究Fe-N体系晶相转变(相变)规律对于高效合成高自旋极化率的g'-Fe4N薄膜材料非常重要.利用同步热分析(TG-DSC)研究了氮化铁薄膜的相变规律. TG-DSC的结果显示,在10℃/min的升温速率下,g'-FeN薄膜在常温到800℃之间共有5次相变,分别为I,g'-FeN→x-Fe2N;II,x-Fe2N→e-Fe3N;III,e-Fe3N→g'-Fe4N; IV, g'-Fe4N→g-Fe;以及V, g-Fe→a-Fe.利用真空退火技术有效调控了氮化铁薄膜的晶相.X-射线衍射测试结果显示,直接在纯氮气中溅射得到的氮化铁薄膜是单相的g'-FeN,经350, 380和430℃退火可分别获得单相的x-Fe2N, e-Fe3N和g'-Fe4N.研究了氮化铁薄膜的磁学性能.振动样品磁强计测试结果显示, g'-Fe4N薄膜在面内/面外表现出明显的磁各向异性,属于典型的磁形状各向异性.
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