零偏退火与反偏退火对含氢的Au／n—Si肖特基势垒的控制

＜１１１＞晶向的掺磷的ｎ型硅外延片经等离子进氢后连同未经等离子氢处理的对比片一起淀积金,制得Ａｕ／ｎ－Ｓｉ肖特基势垒,实验结果表明：氢能使Ａｕ／ｎ－Ｓｉ的肖特基势垒高度下降０．１３ｅＶ;含氢的肖特基势垒的高度可以被零偏退火与反偏退火所控制,即零偏退火使含氢的肖特基势垒的高度降低,而反偏退火使含氢的肖特基势垒的高度升高;而且零偏退火与反偏退火对肖特基势垒高的这种控制作用至少在三个循环过程中是可逆的。