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| 基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化 | |
| 引用本文： | 胡自强,凌宁,潘君骅,姜文汉.基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化[J].光学技术,2009,35(3). |
| 作者姓名： | 胡自强 凌宁 潘君骅 姜文汉 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院,成都光电所,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039;烟台大学,光电信息学院,烟台,264001 2. 中国科学院,成都光电所,成都,610209 3. 苏州大学,现代光学技术研究所,苏州,215006 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，山东省重点实验室资助项目，烟台大学青年基金 |
| 摘 要： | 基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,能够在PZT驱动器的作用下改变面形,用于中小口径非球面镜加工。为优化设计基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,利用有限元分析方法,计算各驱动器的影响函数,计算非球面能动抛光盘的输出面形,与理论面形比较得到剩余残差。以优化设计驱动器排布方式和极头直径为例,当非球面能动抛光盘中心到非球面工件中心的距离L为120mm,分别计算比较,极头直径为Φ10mm时,19单元PZT圆形排布与21单元PZT方形排布的剩余残差;以及19单元PZT圆形排布时,极头直径为Φ10mm与Φ14mm的剩余残差。结果表明,非球面能动抛光盘产生变形后的剩余残差RMS相应分别为0.303μm、0.367μm、0.328μm。因此,基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘确定选用19单元PZT圆形排布且极头直径Φ10mm。 |
| 关 键 词： | 非球面镜 非球面能动抛光盘 优化设计 压电陶瓷驱动器 |
Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap |
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| HU Zi-qiang,LING Ning,PAN Jun-hua,JIANG Wen-han.Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap[J].Optical Technique,2009,35(3). | |
| Authors: | HU Zi-qiang LING Ning PAN Jun-hua JIANG Wen-han |
| Institution: | 1.Institute of Optics & Electronics;The Chinese Academy of Sciences;Chengdu 610209;China;2.Graduate School of The Chinese Academy of Sciences;Beijing 100039;China;3.Modern Optical Technology Institute;Suzhou University;Suzhou 215006;China;4.School of Optics & Electronics Information;Yantai University;Yantai 264001;China |
| Abstract: | The deformable aspheric polishing lap based on PZT actuator can change the lap surface continuously to fit the surface of middle aperture aspheric optical mirrors at any location.In order to optimize design parameters of PZT actuated deformable aspheric polishing lap,the influence function of each PZT actuator and the exported surfaces of deformable aspheric polishing lap are calculated by finite element method.Compared with the needed mirror surface,the residual surface errors are gotten.For example,when t... |
| Keywords: | aspheric mirror deformable aspheric polishing lap optimization design PZT |
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