氮系Ⅲ—Ⅴ族化合物—A1N 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

氮系Ⅲ—Ⅴ族化合物—A1N

作者姓名：	张佐兰

作者单位：	南京工学院

摘要：	AIN薄膜是一种高温绝缘膜和半导体器件的钝化膜,特别适用于超高频表面波器件,是有很大的应用潜力和发展前景的材料。本文主要介绍AIN薄膜的特性、制备方法和应用。
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