离子束引起界面反应和原子混合的唯象模型

离子束引起固体原子反应和混合是近年来国际上研究极为活跃的一个课题,利用这种原理在硅化物形成以及原子微合金方面都取得了很多有益结果。但是,对其物理机理的研究还很不夠,还没有一个完整的理论可以描述“离子混合”的过程。本文从固体中原子碰撞、运动、原子反应和合成的观点出发,讨论了快速离子轰击二元素系统所发生的二类基本过程:原子间的弹性碰撞、原子重排、反应以及形成稳定或亚稳态的过程。提出一个描述离子束引起界面相互作用的原子过程的唯象模型,得到了描述界面反应和扩散的动力学方程,提出了别区受反应控制和受扩散控制过程的判据并与实验结果作了比较。