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| 电化学扫描探针显微镜在表面微／纳米加工的应用 | |
| 引用本文： | 汤儆,毛秉伟,田中群.电化学扫描探针显微镜在表面微／纳米加工的应用[J].微纳电子技术,2003,40(7):192-196. |
| 作者姓名： | 汤儆 毛秉伟 田中群 |
| 作者单位： | 固体表面物理化学重点实验室,化学系,福建,厦门,361005 |
| 基金项目： | 科技部863计划资助项目(2002AA404170) |
| 摘 要： | 概述了在固／液界面微／纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜(EC-SPM)技术，分别讨论了电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)、电化学原子力显微镜(EC-AFM)和扫描电化学显微镜(SECM)在应用于微／纳米加工时的基本原理和各种方法，并综合比较和分析了这三种技术的优缺点。 |
| 关 键 词： | 电化学扫描探针显微镜 表面微加工 纳米加工 电化学 工作原理 针尖诱导法 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0192-05 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Micro-and nano-fabrication by EC-SPM |
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