超纯气体中微量水的气相色谱分析

超纯气体制备和用超纯气体做保护气的许多工业部门,对气体中微量水是需要经常分析的。目前常用的大都是露点法,其缺点是仪器只能专用;而用高灵敏度热导检测器气相色谱仪,不但可方便地测出超纯气体中的微量水,而且还可以测定超纯气体中的微量气体杂质及作其它有机物分析之用。气相色谱仪操作简单,定量也较方便准确。