| 利用Ba0.65Ru0.35TiO3缓冲层制备高热释电系数的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜 |
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| 引用本文： | 刘祚麟,吴传贵,张万里,刘兴钊,李言荣.利用Ba0.65Ru0.35TiO3缓冲层制备高热释电系数的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜[J].红外与激光工程,2006,35(Z5). |
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| 作者姓名： | 刘祚麟 吴传贵 张万里 刘兴钊 李言荣 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用射频溅射,在Ba0.65Sr0.35TiO3(BST)薄膜和Pt/Ti/SiO2/Si衬底之间制备10 nm的Ba0.65Ru0.35RUO3 (BSR)缓冲层,研究了BSR缓冲层对BST薄膜结构和性能的影响.与没有BSR缓冲层的BST薄膜相比,BSR缓冲层可使BST薄膜呈高度a轴择优取向生长,改善了薄膜的介电常数,降低了薄膜的漏电流密度,使其热释电系数达到7.45×10-1 C cm-2 K-1.表明利用BSR缓冲层可以制备高热释电性能的BST薄膜.
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡薄膜 热释电系数 缓冲层 铁电介电辐射计 |
High pyroelectric Ba0.658r0.35TiO3 thin films with Ba0.65Sr0.35TiO3 buffer |
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| LIU Zuo-lin,WU Chuan-gui,ZHANG Wan-li,LIU Xing-zhao,LI Yan-rong.High pyroelectric Ba0.658r0.35TiO3 thin films with Ba0.65Sr0.35TiO3 buffer[J].Infrared and Laser Engineering,2006,35(Z5). |
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| Authors: | LIU Zuo-lin WU Chuan-gui ZHANG Wan-li LIU Xing-zhao LI Yan-rong |
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