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周期排列的H-空气槽光学特性研究
引用本文:孙梅,邢素霞,陈媛媛,徐德刚. 周期排列的H-空气槽光学特性研究[J]. 光子学报, 2010, 39(9). DOI: 10.3788/gzxb20103909.1602
作者姓名:孙梅  邢素霞  陈媛媛  徐德刚
作者单位:1. 北京工商大学,计算机与信息工程学院,北京,100048
2. 天津大学,精仪学院激光与光电子研究所,天津,300072
摘    要:利用电子束直写系统和反应离子束刻蚀的方法制作了周期性排列H-形空气槽.样品的参量:金膜的厚度为120nm,石英基底的厚度0.8mm(其中有5nm厚的铬层),样品是由30×30个单个H-形周期排列形成的,总体尺寸为40×40μm2.每个H-形之间的周期为1.1μm,H-形的臂长均为500nm,空气槽的宽度为120nm.然后用实验的方法测量了在近红外波段的透过曲线,在近红外波段1.6μm处的透过率约为16.3%,用传输矩阵的方法对H-形空气槽结构进行了理论模拟,实验与理论模拟结果吻合较好.随后研究了当入射光的偏振方向与H-形结构的长轴之间的夹角分别为0°、30°、45°、60°和90°时透过曲线的变化情况.通过实验和理论表明,表面等离子体在这种特殊的结构中仍然存在,并且在光的增强透过起着决定性的作用.

关 键 词:亚波长  聚电子束直写系统  H-形空气槽

Enhanced Transmission Through Periodic H-shaped Arrays
SUN Mei,XING Su-xia,CHEN Yuan-yuan,XU De-gang. Enhanced Transmission Through Periodic H-shaped Arrays[J]. Acta Photonica Sinica, 2010, 39(9). DOI: 10.3788/gzxb20103909.1602
Authors:SUN Mei  XING Su-xia  CHEN Yuan-yuan  XU De-gang
Abstract:
Keywords:
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