| AlGaN薄膜的微区Raman散射光谱研究 |
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| 引用本文： | 童玉珍 Liu,MS. AlGaN薄膜的微区Raman散射光谱研究[J]. 发光学报, 1999, 20(1): 32-36 |
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| 作者姓名： | 童玉珍 Liu MS |
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| 作者单位： | 北京大学物理系介观物理重点实验室 |
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| 摘 要： | 利用微区Ｒａｍａｎ散射技术，对低压ＭＯＣＶＤ生长的不同Ａｌ组分的ＡｌｘＧａ１－ｘＮ薄膜（ｘ＝０，０．０７，０．１５）进行了背散射Ｚ（Ｘ，Ｘ）Ｚ－几何配制下的测量．Ａ１（ＬＯ）模式的声子频移随Ａｌ组分的变化关系为：ω（ＡｌｘＧａ１－ｘＮ）＝（１＋０．２２０ｘ）ω（ＧａＮ）．观察到了Ａ１（ＬＯ）模式由于空间相关效应引起的展宽．Ｅ２模式随Ａｌ组分的的增大产生的移动很微小，但趋于展宽．这被认为是Ｅ２模式的声子频移随Ａｌ组分的增加而增大与其受到的张应力导致的声子频移随Ａｌ组分的增加而减小共同作用的结果．在多种配置下，观察到了Ａｌ０．０７Ｇａ０．９３Ｎ薄膜的Ａ１（ＴＯ）模式、Ａ１（ＬＯ）模式、Ｅ１（ＴＯ）模式和Ｅ２模式．验证了ＡｌｘＧａ１－ｘＮ薄膜的Ｒａｍａｎ选择定则．表明ＡｌｘＧａ１－ｘＮ薄膜具有单模行为．
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| 关 键 词： | Al_xGa_(1－x)N薄膜，微区Raman散射，空间相关效应，单模 |
MICRO RAMAN SPECTRA OF AlGaN FILMS |
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| Tong Yuzhen Liu M S a) Bursill L A a) Li Jing Zhang Guoyi Gan Zizhao. MICRO RAMAN SPECTRA OF AlGaN FILMS[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1999, 20(1): 32-36 |
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| Authors: | Tong Yuzhen Liu M S a) Bursill L A a) Li Jing Zhang Guoyi Gan Zizhao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Al x Ga 1-x N film micro Raman diffusion technique spatial correlation effect single mode |
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