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| 掺铒SiOx1.54μm强的室温光致发光 | |
| 作者姓名： | 陈维德 马智训 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所，中国科学院凝聚态物理中心和表面物理国家重点实验室 |
| 摘 要： | 采用等离子化学汽相溶积方法，改变ＳｉＨ４和Ｎ２Ｏ的流量比制备含有不同氧浓度的ＳｉＯｘ，用离子注入方法将铒掺入ＳｉＯＸ，Ｃ ３００－９３５℃快速热退火。 |
| 关 键 词： | 掺铒 光致发光 室温 氧化硅 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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