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| 掺铒SiOx1.54μm强的室温光致发光 | |
| 引用本文： | 陈维德,马智训.掺铒SiOx1.54μm强的室温光致发光[J].发光学报,1999,20(1):55-59. |
| 作者姓名： | 陈维德 马智训 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所，中国科学院凝聚态物理中心和表面物理国家重点实验室 |
| 摘 要： | 采用等离子化学汽相溶积方法，改变ＳｉＨ４和Ｎ２Ｏ的流量比制备含有不同氧浓度的ＳｉＯｘ，用离子注入方法将铒掺入ＳｉＯＸ，Ｃ ３００－９３５℃快速热退火。 |
| 关 键 词： | 掺铒 光致发光 室温 氧化硅 |
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