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| 应用材料公司推出面向3D芯片结构的先进离子注入系统 | |
| 摘 要： | 正全新的Applied Varian VIISta~ 900 3D系统实现无与伦比的离子束线路精度,适用于复杂FinFET和3D存储结构的掺杂工艺独一无二的离子束形状控制能力结合SuperScan 3TM技术,可显著降低器件可变性,实现卓越的颗粒控制性能,从而显著提升产品良率应用材料公司日前宣布全新推出Applied Varian VIISta 900 3D系统。作为业内领先的中电流 |
| 关 键 词： | 应用材料公司 芯片结构 存储结构 离子注入 Varian 束线 形状控制 图像传感器 半导体设备 副总裁 |
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