| 高精度2×2阵列拼接光栅结构设计 |
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| 作者姓名： | 周忆 申超 张军伟 王逍 周海 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学 机械传动国家重点实验室, 重庆 400030；2. 重庆大学 机械工程学院, 重庆 400030；3. 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 610019 |
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| 基金项目： | 国家高技术发展计划项目，中央高校基本科研项目，重庆大学“211工程”三期创新人才培养计划建设项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构，采用模块化和框架式结构设计，保证拼接结构的稳定性；设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构，实现拼接光栅微纳量级的调整要求；讨论了关键组件的设计和制造问题。设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17 μm，微纳调整组件的最小调整精度可以达到1.8 nm，分辨力为0.9 nm，初步光路实验表明，设计的拼接调整机构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度，且稳定时间大于1 h。
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| 关 键 词： | 阵列拼接光栅 微纳调整 结构设计 快点火 |
| 收稿时间： | 1900-01-01; |
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