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| 双靶磁控溅射镀膜机及镀膜工艺 | |
| 引用本文： | 吴代方,童强.双靶磁控溅射镀膜机及镀膜工艺[J].核聚变与等离子体物理,1998,18(2):61-64. |
| 作者姓名： | 吴代方 童强 |
| 作者单位： | 核工业西南物理研究院 |
| 摘 要： | 介绍了双靶磁探溅射镀膜机的结构、工作原理、主要功能同时还简述了非反应与反应溅射相结合的工艺技术，制备了渐米Ａｌ－Ｎ／Ａｌ太阳能选择性吸收涂层以及ＴｉＯ２／Ａｌ反光保护膜层。 |
| 关 键 词： | 反应溅射 选择性吸收涂层 镀膜机 镀膜工艺 |
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