制膜技术与装置 |
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摘 要: | O484.1 2004010480 热蒸镀法与溶胶-凝胶法制备的WO_3薄膜=WO_3 thinfilms derived from thermal evaporation and sol-gel[刊,中]/谢红(郧阳师范高等专科学校物理系.湖北,丹江口(442700)),杨修文∥光电子技术.—2003,23(2).—89-91,125 采用真空热蒸发沉积技术在衬底上沉积了WO_3薄膜。以金属W粉为无机原料,溶胶-凝胶技术结合浸渍镀
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