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| 飞秒激光快速制备大面积二维微纳结构 | |
| 引用本文： | 高文,郑美玲,金峰,董贤子,刘洁.飞秒激光快速制备大面积二维微纳结构[J].激光与光电子学进展,2020,57(11):274-281. |
| 作者姓名： | 高文 郑美玲 金峰 董贤子 刘洁 |
| 作者单位： | 中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心,北京100190;中国科学院大学,北京101407;中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心,北京100190 |
| 基金项目： | 国家科技部重点研究项目;国家自然科学基金 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 激光光学 微纳结构 正胶 大面积 数字微镜器件无掩模光刻 边缘粗糙度 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |