集成光学光电探测器

为了吸取集成光学的优点,就必须研制一种电-光集成元件,以避免电和光学元件间的复杂界面。首先制成一种电-光学集成光电探测器,它是在包含一个光电二极管的Si-SiO_2基片上沉积一个玻璃波导而构成的,通过这个波导,把入射光束导入光电二极管。结构如图1所示。