多波长相移干涉测量法

本文叙述了一种提高双波长相移干涉测量性能的方法。通过引入第三种波长的相位数据,就能测量某种异常陡峭的波前的相位。实验是利用一个线性探测器阵列测量一个离轴抛物面的表面度来完成高的。对于被测的波前,探测器两相邻象素(pixels)之间的光程差达3.3个波。求出五组数据的瞬时平均值之后,测量的可重复性均优于25A°(均方值λ=6328°)。