| 基于透射光谱确定溶胶凝胶ZrO2薄膜的光学常数 |
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| 引用本文： | 梁丽萍,郝建英,秦梅,郑建军.基于透射光谱确定溶胶凝胶ZrO2薄膜的光学常数[J].物理学报,2008,57(12). |
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| 作者姓名： | 梁丽萍 郝建英 秦梅 郑建军 |
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| 作者单位： | 太原科技大学材料科学与工程学院,太原,030024 |
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| 基金项目： | 太原科技大学博士科研启动基金 |
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| 摘 要： | 基于溶胶凝胶ZrO2薄膜的紫外/可见/近红外透射实验光谱,采用Swanepoel方法结合Wemple-DiDomenico色散模型,方便地导出了ZrO2薄膜在200-1200 nm波长范围内的光学常数,包括折射率、色散常数、膜层厚度、吸收系数及能量带隙.研究发现,溶胶凝胶ZrO2薄膜具有高折射率(1.63-1.93,测试波长为632.8 nm)、低吸收和直接能量带隙(4.97-5.63 eV) 等光学特性,而且其光学常数对薄膜制备过程中的重要工艺参数--膜层后处理温度表现出强烈的依赖性.此外,在膜层的弱吸收和中等吸收光谱区域内,计算得到的折射率色散曲线与分光光度法的测试结果基本符合,说明本实验中所建立的计算方法在确定溶胶凝胶ZrO2薄膜光学常数方面的可靠性.
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| 关 键 词： | 光学常数 Swanepoel方法 ZrO2薄膜 热处理 |
Determination of the optical constants of sol-gel derived ZrO2 films simply from the transmission spectra |
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| Liang Li-Ping,Hao Jian-Ying,Qin Mei,Zheng Jian-Jun.Determination of the optical constants of sol-gel derived ZrO2 films simply from the transmission spectra[J].Acta Physica Sinica,2008,57(12). |
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| Authors: | Liang Li-Ping Hao Jian-Ying Qin Mei Zheng Jian-Jun |
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