不同频率驱动下容性耦合Ar等离子体随气压变化的放电特性

讨论了在驱动频率分别为13.56MHz、40.68MHz、94.92MHz和100MHz，功率为40W，气压由3.3～26.6Pa下的容性耦合Ar等离子体的放电特性。利用光谱相对强度法分别诊断了电子激发温度和电子密度。采用粒子模拟和蒙特卡罗碰撞模型(PIC/MCC)，模拟了上述实验条件下中心处电子密度和电子能量概率分布(EEPF)。结果表明，在每一个驱动频率下，电子密度均随放电气压的增加而增加，而电子温度则随气压增加而降低。驱动频率为13.56MHz和40.68MHz的电子密度随气压变化趋势几乎一致，而94.92MHz和100MHz的电子温度则随气压变化趋势几乎一致。通过比较EEPF，电子温度随气压的增加有下降的趋势，与光谱诊断结果基本吻合。