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| La0.5Sr0.5CoO3薄膜的外延生长及其电性能的研究 * | |
| 作者姓名： | 李美亚 熊光成 王忠烈 范守善 赵清太 林揆训 |
| 作者单位： | 1 汕头大学科学院材料研究所 汕头515063 2 北京大学物理系,北京100871 3 北京大学微电子研究所 北京100871 4 清华大学物理系 北京100084 |
| 摘 要： | 系统研究了在LaAlO3 ,SrTiO3 和MgO衬底上、在不同的温度条件下利用脉冲激光法制备的La0.5Sr0.5CoO3薄膜的外延生长和电输运特性 ,测定了薄膜的电阻 温度关系 .研究表明薄膜的电输运性质对其外延结构具有密切的依赖性 ,外延生长的薄膜具有低的电阻率和金属性导电特征 ;在LaAlO3 衬底上在700℃左右外延生长的薄膜具有最佳的性能 ;探讨了这一薄膜的外延生长与其电输运性能的关系及其机理 . |
| 关 键 词： | 外延生长 脉冲激光法 La0.5Sr0.5CoO3薄膜 电输运特性 |
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