|
|||||
|
|
| 信息光学 光学记录、存储与器件 | |
| 摘 要： | TP333.2 2006032252母盘刻录中信息符成形模拟与实验研究=Si mulation andexperi ment study on recording maskin mastering[刊,中]/宋洁(清华大学光盘国家工程研究中心.北京(100084)) ,陈垦…∥光电子·激光.—2006 ,17(3) .—265-268介绍了光刻胶的性能和反应机理,建立了光刻模型,讨论了曝光和显影对信息符的综合影响并对信息符形貌进行了仿真,着重分析刻录激光光斑能量分布对不同周期记录符的影响。以Shipley AZ-1350光刻胶和相应的显影液以及DVD母盘的生产为例,验证了仿真的正确性。图5参7(杨妹清)TP333.4 2006032253多阶光存储研… |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |