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| 硅传声器微型化的研究进展 | |
| 引用本文： | 杨锦刚!北京,.硅传声器微型化的研究进展[J].声学学报,1999(5). |
| 作者姓名： | 杨锦刚!北京 |
| 摘 要： | 引言电声设备或系统中，电声器件（如传声器、扬声器山、送话器、受话器等）的作用显得特别重要，它们的性能与质量往往会决定电声设备或系统的水平，所以电声器件的研究开发和进展会引起声学界各方面的关注、1999年3月在柏林召开的第25届德国声学DAGA会议上，若干集体报道了把改变传声器标准元件为硅片构件的进展。1历史背景小型驻极体传声器在国外70年代末和80年代初美国、瑞士、荷兰等国就解决了研究这种电声器件的关键设计和制造工艺技术，推出了系列产品并己广泛应用。国内于80年代中期研制小型驻极体传声器，1988年在我国已研制出第… |
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