用反应性溅射制备硫化锌薄膜的方法

本文叙述了用反应性溅射制备硫化锌薄膜的方法。在氩气和硫化氢混合气氛中,当直流辉光放电时,氩气溅射到纯锌阴极上,而在置于阳极上的玻璃载片或导电玻璃衬底上形成硫化锌薄膜。 为寻找最佳溅射条件,在不同条件下制作了薄膜,所得结果如下: 延长溅射时间和降低衬底温度均能增加薄膜厚度,当混合气体中的氩气体积约占 70％和混合体的压力约 1.5 ×10~(-1)μ时,薄膜为最厚。 在溅射形成的薄膜的x线辛射图象中,只能看至β-ZnS(111)峰。在溅射过程中,衬底温度越高,β—ZnS(111)的反射也越强。在真空中进一步烧结,可改进薄膜的结晶性能。