| 新型扫描电镜分辨率的蒙特卡罗模拟 |
| |
| 引用本文： | 蒋昌忠.新型扫描电镜分辨率的蒙特卡罗模拟[J].武汉大学学报(理学版),2001,47(1):87-90. |
| |
| 作者姓名： | 蒋昌忠 |
| |
| 作者单位： | 武汉大学物理科学与技术学院,湖北 武汉 430072 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（10045001，10005005）；教育部骨干教师基金；武汉大学邵逸周研究基金资助项目 |
| |
| 摘 要： | 用蒙特卡罗方法模拟计算了利用高能同轴背散射电子的扫描电子显微镜的空间分辨率.点源模型的模拟结果显示小的入射能量、探测能量窗口及探测角值对应较好的分辨率.对由两种不同元素构成的边界而言,模拟结果显示好的分辨率对应较小的探测能量窗口和较大的探测角,最佳的入射能量是10keV.在合理优化电镜工作参数的前提下,最佳空间分辨率可达束斑大小的量级.
|
| 关 键 词： | 扫描电子显微镜 同轴背反射电子 蒙特卡罗模拟 分辨率 |
| 文章编号： | 0253-9888(2001)01-0087-04 |
| 修稿时间： | 2000年9月19日 |
Resolution of a New Type of Scanning Electron Microscope,Simulated by Monte Carlo Method |
| |
| JIANG Chang-Zhong.Resolution of a New Type of Scanning Electron Microscope,Simulated by Monte Carlo Method[J].JOurnal of Wuhan University:Natural Science Edition,2001,47(1):87-90. |
| |
| Authors: | JIANG Chang-Zhong |
| |
| Abstract: | By using the Monte Carlo method, we calculate the spatial resolution of the scanning electron microscope using low loss energy and coaxial backscattered electrons. The simulation results for a pin point electron beam show that a good resolution corresponds to lower values of primary energy, detection energy windows and detection angle. For a chemical step, the simulation results show that a good resolution can be obtained by using a lower value of primary energy and a greater detection angle value; the optical primary energy value is equal to 10 keV. By optimizing the controllable parameters, the best resolution can attain the same order as the beam diameter value. |
| |
| Keywords: | scanning electron microscope (SEM) coaxial backscattered electron Monte Carlo simulation resolution |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
