| 溅射方法干式处理超导加速腔表面的研究与分析 |
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| 引用本文： | 朱凤,焦飞,全胜文,郝建奎,赵夔. 溅射方法干式处理超导加速腔表面的研究与分析[J]. 物理学报, 2009, 58(2): 876-881 |
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| 作者姓名： | 朱凤 焦飞 全胜文 郝建奎 赵夔 |
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| 作者单位： | 北京大学核物理与核技术国家重点实验室,重离子物理研究所,北京 100871 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(批准号：2002CB713600)资助的课题. |
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| 摘 要： | 详细研究了利用超高真空氩离子清洗技术发展的一种超导铌腔表面的“干式”处理方法,从微观和宏观角度分析了溅射处理对铌的表面特性和对超导腔性能的影响.与传统的“湿式”处理方法(化学抛光BCP和电抛光EP)相比,干式处理方法具有结构简单、容易控制、没有污染等优点,是一种很有潜力的超导腔处理方法,可以提高超导腔的性能.关键词：超导加速腔溅射形貌分析残留电阻比RRR
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| 关 键 词： | 超导加速腔 溅射 形貌分析 残留电阻比RRR |
| 收稿时间： | 2008-04-09 |
Surface dry treatment of RF superconducting cavity by sputtering |
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| Zhu Feng,Jiao Fei,Quan Sheng-Wen,Hao Jian-Kui,Zhao Kui. Surface dry treatment of RF superconducting cavity by sputtering[J]. Acta Physica Sinica, 2009, 58(2): 876-881 |
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| Authors: | Zhu Feng Jiao Fei Quan Sheng-Wen Hao Jian-Kui Zhao Kui |
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| Abstract: | We have developed a new technique of surface treatment of RF superconducting cavity by sputtering under ultra high vacuum. In this paper,impacts of sputtering treatment on the surface properties of niobium sample and niobium cavity are analysed in detail. Compared with the traditional “wet" cavity treatment (buffered chemical polishing and electro-polishing),this dry treatment is simple,easy to control,less costly and without pollution. It is a potential superconducting cavity surface treatment method and can improve the performance of the cavity. |
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| Keywords: | superconducting cavity sputtering SEM RRR |
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